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发表于 2007-9-8 23:46:56
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蒸着---------------物質を高温にして蒸発させ、この蒸気を当てて物質を薄膜状につける方法をいう。これは一般に真空中で行うことが多い。これを真空蒸着という。蒸発させる材料をタングステンのフィラメントにのせ、近くに蒸着させる基板を置く。フィラメントに電流を流して加熱して材料を蒸発させると、基板には材料の薄膜ができる。材料の蒸発には、電子ビーム照射、高周波誘導加熱あるいは放電加熱などの方法も用いられる。蒸着は金属の薄膜の生成に有用で、半導体素子における導体や抵抗体薄膜、磁気記録用のテープ、ディスクの金属磁性薄膜の製造などに用いられている。 |
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