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原文是这样的:
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【0059】
〔液晶パネル用スペーサの形成方法〕
以下、本発明の感光性樹脂組成物を用いて液晶パネル用スペーサを形成する方法について説明する。
先ず、スペーサが形成されるべき基板上に、ロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて、感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて溶媒を除去する。
【0060】
次いで、ネガ型のマスクを介して、紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射して部分的に露光する。露光には、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、カーボンアーク灯等の紫外線を発する光源を用いることができる。照射するエネルギー線量は、感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば30~2000mJ/cm2程度が好ましい。
【0061】
次いで、露光後の感光性樹脂層を現像液で現像することにより、スペーサを形成する。現像方法は特に限定されず、例えば浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
そして、現像後のスペーサにポストベークを施して加熱硬化する。ポストベークの温度は150~250℃が好ましい。
【0062】
本発明の感光性樹脂組成物は、各種基材に対する密着性が向上しているため、このようにスペーサを形成する際に本発明の感光性樹脂組成物を用いた場合、現像時間を長くとったとしても、パターン剥がれが生じることがない。すなわち、現像マージンが長い。したがって、基板端部等の感光層の膜厚が厚い部分が存在する場合であっても、現像時間を長くとることにより、確実に溶解除去することができる。
また、スプレー法を用いて現像する際にも、基板面内におけるスプレー圧差に対するマージンが改善されるため、歩留まりが向上する。
さらに、スペーサ上に配向膜を形成した後、ラビングする場合にも、ラビングによってパターン剥がれが生じることがない。
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1、文中出现的スペーサ,对应的英文是spacer,就是夹在两个基板中间用以形成空间,来灌入液晶的那个东西,不知道翻译成“隔垫物
”是否符合行业用语习惯。
2、另外“現像マージン”“マージン(margin??)”这两个词彻底晕乎了,不知道表示的什么含义,特别是那句“基板面内におけるスプレー圧差に対するマージン……”不能理解。
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没有怎么做过日到简体中文的翻译,可能有点台湾化,试译译文如下,望大家指点
[液晶面板用隔垫物的形成方法]
以下,对使用本发明的感光性树脂组合物形成液晶面板用隔垫物的方法加以说明。
首先,用辊式涂布机、反向涂布机、棒式涂布机等接触转印型涂布装置或旋转式涂布装置(Spinner)、淋幕式平面涂装机(Curtain Flow Coater)等非接触型涂布装置,将感光性树脂组合物涂布于应形成隔垫物的基板上,使其干燥除去溶剂。
接着,透过负像掩模(negative mask)照射紫外线、准分子激光等活性能量线使其部分曝光。在曝光中可以使用高压汞灯、超高压汞灯、氙灯、碳弧灯等发出紫外线的光源。照射的能量线量根据感光性树脂组合物的组成而不同,例如优选为30~2000 mJ/cm2左右。
接着,通过用显影液将曝光后的感光性树脂层显影来形成隔垫物。对于显影方法并无特别限制,例如可采用浸渍法、喷射法等。显影液的具体例可以是:一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等有机类物质或氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、氨、季铵盐等的水溶液。
接着,对显影后的隔垫物实施后烘(post bake)处理来进行加热硬化。后烘处理的温度优选为150~250℃。
本发明的感光性树脂组合物对各种基材的粘着性得到提高,因此在如上述形成隔垫物时使用本发明的感光性树脂组合物的情况下,即使延长显影时间也不会产生图案剥离。即,显影??margin??长。因此,即使有基板端部等处的感光层膜厚较厚的部分存在,也可以通过延长显影时间来确实地将其溶解除去。
此外,在采用喷射法进行显影时,也因为改善了相对于基板面内的喷射压差的??margin??,所以产率得到提高。
进一步,即使在隔垫物上形成取向膜后进行摩擦的情况下,也不会由于摩擦而产生图案剥离。 |
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