新プラットフォーム採用により

shimanami

新プラットフォーム採用により超高スループットとアライメント精度の大幅向上を実現したi線スキャンフィールドステッパー

NSR-SF150は、投影レンズを吊り下げることで振動を大幅に軽減する新プラットフォーム「スカイフック構造」と、ステージの高速化を実現する軽量ウェエハステージを採用したi線スキャンフィールドステッパーです。アライメント精度もさらに向上し、300ミリウェハで毎時180枚以上という超高スループットを実現しています。

[ 本帖最后由 龙猫 于 2007-10-26 18:51 编辑 ]

shimanami

没有人看得懂吗?
这是面试的问题, 帮帮我啊!!

[ 本帖最后由 shimanami 于 2007-10-25 09:35 编辑 ]

iamxuehui2000

難しいですね

昨夜雨潇潇

看到外来语就头疼啊.

shimanami

皆様、よろしくお願いしますよ！！！
助けて！！！

zdenny0001

ニコン 縮小投影型露光装置「NSR-SF150」
        尼康开发出吞吐量比原产品提高了54%的i线曝光设备“NSR-SF150”。能以180枚/时的速度处理300mm晶圆。分辨率为280nm，开口数（NA）为0.62，曝光范围为26mm×33mm。将于2007年第2季度开始上市。
       吞吐量的提高是通过减轻工作台（Stage）重量、提高移动速度以及缩短晶圆的处理间隔来实现的。提高了吞吐量之后，工作台位置对准精度容易降低，但通过在以下2方面下功夫，位置对准精度比原来提高了30%，即25nm。
       第1，采用不固定投影镜头，而是悬挂的“悬吊构造”，减小地板振动的影响。此次为尼康首次在曝光设备中采用这种构造。第2，减小驱动器等发热引起的晶圆周围温度偏差，抑制由空气的折射率偏差引起的位置对准精度的下降。
　　尼康将在2006年12月6～8日举行的“SEMICON JAPAN 2006”上展出此次的设备。
尼康开发出吞吐量增至1.5倍的i线曝光设备
尼康开发的i线曝光设备“NSR-SF150”吞吐量为180枚/时（按300mm的晶圆换算），比原机型提高了54%。
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网上找来的，但愿有所帮助。

々月光～

うれしいです。宜しく。

请大家帮我翻译以上,谢谢!~

shimanami

谢谢!
但是原文如何翻译呢?

zdenny0001

这两段材料基本上是对应的，请自己组合排列一下。
毕竟是你的面试题，总该自己动动脑筋的说。