等离子蚀刻气体、离子注入剂、锂离子电池电解液用日语怎么说？

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  目前，我国在含氟电子化学品方面的研制开发产品有等离子蚀刻气体、离子注入剂、锂离子电池电解液等。请问各位高手，这句话中的“等离子蚀刻气体、离子注入剂、锂离子电池电解液”用日语怎么说？谢谢大家！