マージン？？現像マージン??

rikokushin

　本発明の感光性樹脂組成物は、各種基材に対する密着性が向上しているため、このようにスペーサを形成する際に本発明の感光性樹脂組成物を用いた場合、現像時間を長くとったとしても、パターン剥がれが生じることがない。すなわち、現像マージンが長い。したがって、基板端部等の感光層の膜厚が厚い部分が存在する場合であっても、現像時間を長くとることにより、確実に溶解除去することができる。
　また、スプレー法を用いて現像する際にも、基板面内におけるスプレー圧差に対するマージンが改善されるため、歩留まりが向上する。
　さらに、スペーサ上に配向膜を形成した後、ラビングする場合にも、ラビングによってパターン剥がれが生じることがない。

[ 本帖最后由 rikokushin 于 2007-10-24 23:56 编辑 ]

rikokushin

不知道这个词是什么意思呢？？

kuni

显影剂余量(显影冲洗时间差、曝光部分的耐显像液性)
还是看图更明白:


[ 本帖最后由 kuni 于 2007-10-25 09:04 编辑 ]

prince_cai

这也遇到过这个词，我把它翻译成“显影余量”or“显影裕度”

rikokushin

根据google图片搜索
http://images.google.cn/imgres?imgurl=http://www.zeon.co.jp/content/000013812.gif&imgrefurl=http://www.zeon.co.jp/business/enterprise/imagelec/elx.html&h=135&w=250&sz=11&hl=zh-CN&start=4&um=1&tbnid=HWBOV853zVNTEM:&tbnh=60&tbnw=111&prev=/images%3Fq%3D%2B%25E2%2580%259D%25E7%258F%25BE%25E5%2583%258F%25E3%2583%259E%25E3%2583%25BC%25E3%2582%25B8%25E3%2583%25B3%26svnum%3D10%26um%3D1%26complete%3D1%26hl%3Dzh-CN%26lr%3D%26newwindow%3D1%26sa%3DN
对应的英文应该是：
Development Latitude  

应该是：
显影宽容度

[[i] 本帖最后由 rikokushin 于 2007-10-26 15:51 编辑 [/i]]