看不懂,帮一下忙,先在此谢谢!!（别处没有人会,只能到这里）

shimanami · 发表于 2007-10-25 10:23:07

新プラットフォーム採用により超高スループットとアライメント精度の大幅向上を実現したi線スキャンフィールドステッパー

NSR-SF150は、投影レンズを吊り下げることで振動を大幅に軽減する新プラットフォーム「スカイフック構造」と、ステージの高速化を実現する軽量ウェエハステージを採用したi線スキャンフィールドステッパーです。アライメント精度もさらに向上し、300ミリウェハで毎時180枚以上という超高スループットを実現しています。

面试问题,多多帮忙!

izam · 发表于 2007-10-25 20:07:59

由于采用了新平台，i线扫描领域分节器实现了超高容量以及整合精度的大幅提高。
“NSR-SF150”i线扫描领域分节器，采用了通过悬挂投影镜头，使得振荡大幅减轻的新平台“悬钩构造”，以及使得集成半导体高速化的waferIC基板半导体。整合精度也更为提高，并且可以实现300毫米waferIC基板每小时180张以上的超高工作量。

shimanami · 发表于 2007-10-26 07:42:22

ありがとうございました！！

noks · 发表于 2007-11-2 20:23:55

厉害阿，那么多专用词汇都懂

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