引き置き耐性～～～什么意思？

bluelily8848 · 发表于 2006-10-25 04:05:21

この特定の炭化フッ素化合物の添加により、レジスト保護膜形成材料を塗液としてレジスト膜上に塗布する場合の塗布性が向上する。そして、さらに重要なことに、この特定の炭化フッ素化合物を添加した保護膜を用いた場合、レジスト膜をパターン露光した後の微量アミン含有雰囲気中での引き置き耐性を向上させることができる。

山野屏风 · 发表于 2006-10-25 06:28:06

这是不是“伤风止痛膏”方面的？

bluelily8848 · 发表于 2006-10-26 05:52:09

不是，显影装置方面的

rikokushin · 发表于 2006-10-26 05:59:23

偶也没有见过,记录一下,明天帮你问问其他人

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[词汇问题] 引き置き耐性～～～什么意思？